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Kleindiek納米探針臺(tái)是基于SEM/FIB的材料，半導(dǎo)體器件的電學(xué)性能表征系統(tǒng)。納米級(jí)微操縱器和相關(guān)的探針軟硬件模塊組合提供多功能的納米探測(cè)的解決方案，用于半導(dǎo)體器件故障分析和穩(wěn)定微弱電流的測(cè)量。
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